• RU
  • icon На проверке: 19
Меню

Технология изготовления ФПЗС

  • Добавлен: 17.08.2014
  • Размер: 40 KB
  • Закачек: 0
Узнать, как скачать этот материал

Описание

Чертеж технологии изготовления ФПЗС выполненный в программе автокад.

Состав проекта

icon
icon 43.dwg

Дополнительная информация

Контент чертежей

icon 43.dwg

43.dwg
Технология изготовления ФПЗС
диффузионная область
(ионное легирование бромом)
Подготовка пластины к
технологическому циклу
легирование поликремния
фотолитография электродов
Выращивание поликремния
Фотолитография контактных
Финишное легирование-
Электронный микроскоп
вакуумного напыления
новка ионного легирования
Технология изготовления
up Наверх